РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК

ПРЕЗИДИУМ

Президиум Российской академии наук ПОСТАНОВЛЯЕТ:

1. Утвердить основные направления научной деятельности Учреждения Российской академии наук Института проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН:

физико-химические основы перспективных технологий создания элементной базы наноэлектроники и микроэлектроники; а также наносистемной и микросистемной техники;

физические основы перспективных методов диагностики структур наноэлектроники и микроэлектроники, разработка диагностической аппаратуры;

физические основы рентгеновской оптики и методов управления рентгеновским лучом, разработка методов рентгеновской и электронной литографии и микроскопии;

исследование электрических, магнитных и оптических свойств нано-метровых и квантоворазмерных структур с целью поиска новых физических принципов построения элементной базы наноэлектроники и микроэлектроники, а также наносистемной и микросистемной техники;

исследование и разработка физико-химических методов получения и анализа высокочистых и функциональных материалов наноэлектроники и микроэлектроники.

2. Директору Учреждения Российской академии наук Института проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН доктору физико-математических наук Тулину В.А. представить на утверждение в установленном порядке соответствующие изменения в Устав Института.

3. Контроль за выполнением настоящего постановления возложить на и.о. академика-секретаря Отделения нанотехнологий и информационных технологий РАН академика Велихова Е.П.

И.о. президента Российской академии наук
академик А.Д.Некипелов

Главный ученый секретарь Президиума Российской академии наук
академик В.В.Костюк