А.Н. Сауров специалист в области разработки и применения конструктивно-технологических методов и приемов самоформирования в микро- и наноэлектронике и микро- и наносистемной технике. Сфера научной деятельности А.Н. Саурова: применимость методов самоформирования и самосовмещения для создания элементной, базы СБИС и микросистем, на основе которой разработаны технологии изготовления ряда самоеовмещенных биполярных, комплементарных биполярных интегральных структур; создание на основе методов самоформирования конструктивно-технологического базиса для скоростных заказных схем и базовых матричных кристаллов, а также для микросистем; методы создания наноструктурированных элементов и устройств на их основе, А.Н. Сауров - автор более 120 научных работ, из них 27 авторских свидетельств и патентов. Одной из крупных публикаций 2010 года является перевод Справочника Шнрингера по наиотехнологиям в 3 томах под общей редакцией А.Н. Саурова, Ключевые слова Наноэлектроника. Разработка технологии интегральных схем, микро- и наносистем. |
Наш адрес: 119991 ГСП-1 Москва В-71, Ленинский просп., 14 Телефон: 938-0309 (Справ. бюро) Факс: (495)954-3320 (Лен.пр.,14), (495)938-1844 (Лен.пр.,32а) | Назад |