Лабунов В.А. – всемирно признанный специалист в области микро- и наноэлектроники, в том числе в разработке кремний-углеродной компонентной базы информационных и коммуникационных систем.
Создал научное направление по разработке автоматизированных интегрированных замкнутых технологий производства интегральных микросхем. Разработал высокоэффективные базовые электрохимические процессы производства элементов полупроводниковых и гибридных интегральных микросхем; ионно-плазменные, ионно-лучевые, импульсные ламповые, лазерные фотохимические технологические процессы индивидуальной обработки полупроводниковых пластин. Более 550 научных работ и более 500 изобретений. Заслуженный изобретатель БССР, лауреат премии Президиума АН СССР за лучшие фундаментальные разработки в области микроэлектроники (1978), лауреат Государственной премии Республики Беларусь (1992); награжден орденами Октябрьской Революции (1986), Трудового Красного Знамени (1981). Почётный член Нанотехнологического общества России, проводит совместные исследования с Институтом радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Физико-технологическим институтом РАН и Институтом нанотехнологий микроэлектроники РАН. Ключевые слова Микроэлектроника и элементная база |
Наш адрес: 119991 ГСП-1 Москва В-71, Ленинский просп., 14 Телефон: 938-0309 (Справ. бюро) Факс: (495)954-3320 (Лен.пр.,14), (495)938-1844 (Лен.пр.,32а) | Назад |