Росатом и РАН разработают мощный
фотолитограф для производства микроэлектроники. Об этом рассказал научный
руководитель Национального центра физики и математики (НЦФМ, г. Саров,
Нижегородская область), академик РАН Александр Сергеев в интервью журналу «Эксперт».
«Это проект, в котором планируют
участвовать несколько крупнейших учреждений Росатома и академических
институтов. Я говорю о литографе на основе лазерно-плазменного взаимодействия,
когда у вас есть мощный лазер и лазерная мишень в форме капли вещества или
струи газа, которые, превращаясь в плазму, становятся источниками
рентгеновского излучения. И тут очень важны высокоотражающие рентгеновские
зеркала, потому что они позволяют это излучение концентрировать, транспортировать
и рисовать с помощью него на фоторезисте различные наноструктуры», –
рассказал Сергеев.
По его словам, в России есть все необходимые для
этого компоненты, которые необходимо объединить в этой разработке.
«Во-первых, мощный лазер. В Росатоме
есть мультикиловаттные лазеры, которые используются в различных приложениях.
Во-вторых, технология изготовления рентгеновских зеркал, например в Институте
физики микроструктур РАН, у нас одна из лучших в мире. Мы также можем
использовать разработки Росатома для моделирования всей этой системы на основе
цифрового двойника», – перечислил ученый.
Сергеев напомнил,
что первая в мире успешная разработка рентгеновского литографа была
осуществлена силами нескольких национальных лабораторий министерства энергетики
США, аналога Росатома. По его словам, наши институты тоже в этой программе
участвовали.
«Нам сегодня нужна аналогичная
кооперация сильных институтов, и мне кажется, что уж где как не в рентгеновской
литографии, мы можем обеспечить страну установкой. С учетом наших научных заделов
в целом получается проект, за который надо срочно браться и делать его», –
резюмировал академик Сергеев.
Фотолитография – метод получения определенного
рисунка на поверхности материала, широко используемый в микроэлектронике и
других видах микротехнологий, а также в производстве печатных плат, пишет ТАСС.
Один из основных приемов планарной технологии, используемой в производстве
полупроводниковых приборов.
Источник: Научно-информационный портал «Поиск».
Фото: atomic-energy.ru.