Область научных интересов – физика и технология наноматериалов и наноструктур. Сфера научной деятельности: разработка комплекса методов практической диагностики и его применении в материаловедении и технологиях; создание новых и совершенствование существующих методов диагностики, основанных на регистрации сигналов, возникающих при взаимодействии электронных, фотонных, рентгеновских, ионных и других пучков, а также тонких металлических нанозондов с твердым телом; комплексная нанодиагностика, встроенная в современные технологии; вопросы применения разработанных комплекса методов практической диагностики для исследования материалов, структур и приборов микро-, нано- и оптоэлектроники. Ключевые слова Физика и технология наноматериалов и наноструктур. Диагностика гетероструктур.